1. Definice systému hromadného rozdělování plynu:
Skladování a regulace tlaku inertních plynů Typy plynů: Typické inertní plyny (dusík, argon, stlačený vzduch atd.)
Velikost potrubí: Od 1/4 (monitorovací potrubí) do 12palcového hlavního potrubí
Hlavními produkty systému jsou: membránový ventil/vlnovcový ventil/kulový ventil, vysoce čistý konektor (VCR, svařovací tvar), konektor s objímkou, regulační ventil tlaku, tlakoměr atd.
V současné době nový systém zahrnuje také systém pro velkoobjemový speciální plyn, který pro skladování a přepravu využívá pevné plynové lahve nebo cisternové vozy.
2. Definice čisticího systému:
Odstraňování nečistot z objemových plynů pro vysoce čisté plynovody
3. Definice plynových skříní:
Zajišťujeme regulaci tlaku a monitorování průtoku pro speciální zdroje plynů (toxické, hořlavé, reaktivní, korozivní plyny) a máme možnost vyměňovat plynové lahve.
Umístění: Nachází se v podpatře nebo v suterénu pro skladování speciálních plynů. Zdroj: NF3, SF6, WF6 atd.
Velikost potrubí: Vnitřní plynovod, obvykle 1/4 palce pro procesní potrubí, 1/4-3/8 palce hlavně pro potrubí proplachování dusíkem vysoké čistoty.
Hlavní produkty: Vysoce čisté membránové ventily, zpětné ventily, tlakoměry, tlakoměry, vysoce čisté konektory (VCR, svařovací forma) Tyto plynové skříně v podstatě obsahují automatické přepínací funkce pro lahve, aby byla zajištěna nepřetržitá dodávka plynu a bezpečná výměna lahví.
4. Definice distribuce:
Připojení zdroje plynu k cívce pro sběr plynu
Velikost potrubí: V továrně na třísky se velikost potrubí pro distribuci plynu obvykle pohybuje od 1/2 palce do 2 palců.
Způsob připojení: Speciální plynovody se obvykle spojují svařováním, bez jakéhokoli mechanického spojení nebo jiných pohyblivých částí, a to především proto, že svařované spojení má vysokou těsnost.
V továrně na čipy jsou stovky kilometrů potrubí připojených k přenosu plynu, které jsou v podstatě asi 6 metrů dlouhé a svařené dohromady. Velmi běžné jsou také ohyby trubek a trubkové svařované spoje.
5. Definice multifunkční ventilové skříně (rozdělovací skříň ventilů, VMB):
Jde o distribuci speciálních plynů ze zdroje plynu do různých konců zařízení.
Vnitřní rozměr potrubí: 1/4 palce procesní potrubí a 1/4 - 3/8 palce proplachovací potrubí. Systém může využívat počítačové řízení, které vyžaduje ovládané ventily, nebo umožňuje levnější situace s ručními ventily.
Systémové produkty: vysoce čisté membránové ventily/vlnovce, zpětné ventily, vysoce čisté spoje (VCR, mikrosvařovací forma), regulační ventily, tlakoměry a manometry atd. Pro distribuci některých inertních plynů se používá hlavně rozdělovací panel ventilů - VMP (multifunkční ventilový kotouč), který má otevřený povrch plynového kotouče a nevyžaduje konstrukci s uzavřeným prostorem a dodatečné proplachování dusíkem.
6. Definice desky/skříně sekundárního ventilu (panel pro připojení nástrojů):
Připojte plyn potřebný pro polovodičové zařízení od zdroje plynu ke konci zařízení a zajistěte odpovídající regulaci tlaku. Tento panel je systém regulace plynu, který je blíže ke konci zařízení než VMB (multifunkční ventilová skříň).
Velikost plynovodu: 1/4 - 3/8 palce
Velikost potrubí pro kapalinu: 1/2 - 1 palec
Velikost výtlačného potrubí: 1/2 - 1 palec
Hlavní produkty: membránový ventil/vlnovcový ventil, jednocestný ventil, regulační ventil tlaku, tlakoměr, manometr, vysoce čisté spoje (VCR, mikrosvařování), spoje s objímkou, kulové kohouty, hadice atd.
Čas zveřejnění: 22. listopadu 2024