1. Definice plynového systému:
Skladování a kontrola tlaku inertních plynů Typy plynů: Typické inertní plyny (dusík, argon, stlačený vzduch atd.)
Velikost potrubí: Od 1/4 (monitorovací potrubí) do 12palcového hlavního potrubí
Hlavními produkty systému jsou: membránový ventil/vlnovcový ventil/kulový ventil, konektor s vysokou čistotou (VCR, svařovací forma), konektor ferule, regulační ventil tlaku, manometr atd.
V současné době je součástí nového systému také velkoobjemový speciální plynový systém, který ke skladování a přepravě využívá pevné plynové lahve nebo autocisterny.
2. Definice čistícího systému:
Odstraňování nečistot z sypkých plynů pro vysoce čisté plynovody
3. Definice plynových skříní:
Poskytují kontrolu tlaku a monitorování průtoku pro speciální zdroje plynu (toxické, hořlavé, reaktivní, korozivní plyny) a mají schopnost vyměnit lahve na plyny.
Umístění: Nachází se v přízemí nebo spodním patře pro skladování speciálních plynů Zdroj: NF3, SF6, WF6 atd.
Velikost potrubí: Vnitřní plynovod, obecně 1/4 palce pro procesní potrubí, 1/4-3/8 palce hlavně pro potrubí pro čištění dusíku s vysokou čistotou.
Hlavní produkty: Membránové ventily s vysokou čistotou, zpětné ventily, tlakoměry, tlakoměry, konektory s vysokou čistotou (VCR, svařovací forma) Tyto plynové skříně v zásadě obsahují automatické spínací schopnosti lahví pro zajištění nepřetržité dodávky plynu a bezpečné výměny lahví.
4. Definice distribuce:
Připojení zdroje plynu ke sběrné cívce plynu
Velikost linky: V továrně na výrobu čipů se velikost potrubí pro distribuci plynu obecně pohybuje od 1/2 palce do 2 palců.
Forma připojení: Speciální plynovody jsou obecně spojeny svařováním, bez jakéhokoli mechanického spojení nebo jiných pohyblivých částí, zejména proto, že svařovací spojení má vysokou spolehlivost těsnění.
V továrně na čipy jsou stovky kilometrů trubek připojených k přenosu plynu, které jsou v podstatě asi 20 stop dlouhé a svařené dohromady. Některé ohyby trubek a trubkové svařovací spoje jsou také velmi běžné.
5. Multifunkční ventilová skříň (Valve Manifold Box, VMB) Definice:
Jde o distribuci speciálních plynů ze zdroje plynu do různých konců zařízení.
Velikost vnitřního potrubí: procesní potrubí 1/4 palce a proplachovací potrubí 1/4 - 3/8 palce. Systém může používat ovládání počítačem, aby vyžadoval ovládané ventily nebo levnější situace s ručními ventily.
Systémové produkty: membránové ventily/vlnovcové ventily s vysokou čistotou, zpětné ventily, spoje s vysokou čistotou (VCR, mikrosvařovací forma), tlakové regulační ventily, tlakoměry a tlakoměry atd. Pro rozvod některých inertních plynů je panel ventilového potrubí - Používá se hlavně VMP (multifunkční ventilový disk), který má otevřený povrch plynového disku a nevyžaduje konstrukci uzavřeného prostoru a dodatečné proplachování dusíkem.
6. Sekundární ventilová deska/box (panel pro připojení nářadí) Definice:
Připojte plyn požadovaný pro polovodičové zařízení od zdroje plynu ke konci zařízení a zajistěte odpovídající regulaci tlaku. Tento panel je systém řízení plynu, který je blíže konci zařízení než VMB (multifunkční ventilová skříň).
Velikost plynovodu: 1/4 - 3/8 palce
Velikost potrubí kapaliny: 1/2 - 1 palec
Velikost výtlačného potrubí: 1/2 - 1 palec
Hlavní produkty: membránový ventil / vlnovcový ventil, jednocestný ventil, tlakový regulační ventil, manometr, manometr, vysoce čistý spoj (VCR, mikro-svařování), objímkový spoj, kulový ventil, hadice atd.
Čas odeslání: 22. listopadu 2024