banner_stránky

Zprávy

Význam potrubí pro vysoce čistý plyn pro polovodiče

As polovodičS rozvojem elektronických a mikroelektronických technologií směrem k vyššímu výkonu a vyšší integraci jsou kladeny vyšší požadavky na čistotu speciálních plynů pro elektroniku. Technologie potrubí pro vysoce čistý plyn je důležitou součástí systému zásobování vysoce čistým plynem. Je to klíčová technologie pro dodávku vysoce čistých plynů, které splňují požadavky na místa odběru plynu a zároveň si zachovávají kvalifikovanou kvalitu.

„“

Technologie vysoce čistých potrubí zahrnuje správný návrh systému, výběr potrubních tvarovek a pomocných materiálů, konstrukci, instalaci a testování.

01Obecná koncepce potrubí pro přepravu plynu

Všechny vysoce čisté a nezávadné plyny musí být do koncového bodu přepravovány potrubím. Aby byly splněny požadavky na kvalitu procesu plynu, je při jistém indexu exportu plynu nutné věnovat větší pozornost výběru materiálu a kvalitě konstrukce potrubního systému. Kromě přesnosti zařízení na výrobu nebo čištění plynu je do značné míry ovlivněna mnoha faktory potrubního systému. Proto je nutné při výběru potrubí dodržovat příslušné zásady čisticího průmyslu a materiál potrubí vyznačit ve výkresech.

02Význam vysoce čistých plynovodů pro přepravu plynu

Význam vysoce čistých potrubí pro přepravu vysoce čistého plynu Během procesu tavení nerezové oceli může každá tuna absorbovat asi 200 g plynu. Po zpracování nerezové oceli se na jejím povrchu nejen usazují různé znečišťující látky, ale určité množství plynu se také absorbuje do její kovové mřížky. Když potrubím prochází proudění vzduchu, část plynu absorbovaná kovem se vrací do proudu vzduchu a znečišťuje čistý plyn.

Pokud je proudění vzduchu v potrubí přerušované, dochází v potrubí k adsorpci tlaku plynu procházejícího potrubím. Když proudění vzduchu přestane, plyn adsorbovaný potrubím vytvoří tlakovou redukci a analyzovaný plyn se také dostává do čistého plynu v potrubí jako nečistota.

Současně adsorpční a analytický cyklus způsobí, že kov na vnitřním povrchu potrubí vytvoří určité množství prášku. Tyto kovové prachové částice také znečišťují čistý plyn v potrubí. Tato vlastnost potrubí je velmi důležitá. Aby byla zajištěna čistota přepravovaného plynu, je nejen nutné, aby vnitřní povrch potrubí měl extrémně vysokou hladkost, ale také aby měl vysokou odolnost proti opotřebení.

Pokud má plyn silné korozivní vlastnosti, musí být pro potrubí použity korozivzdorné nerezové trubky. Jinak se na vnitřním povrchu trubky v důsledku koroze objeví korozní skvrny. V závažných případech se velké kusy kovu odlupují nebo dokonce perforují, čímž kontaminují přepravovaný čistý plyn.

03Materiál potrubí

Výběr materiálu potrubí je třeba provést podle potřeb použití. Kvalita potrubí se obecně měří podle drsnosti vnitřního povrchu potrubí. Čím nižší je drsnost, tím menší je pravděpodobnost unášení částic. Obecně se potrubí dělí na tři typy:

Jeden jeTrubka EP třídy 316L, který byl elektrolyticky leštěn (elektropolštil). Je odolný vůči korozi a má nízkou drsnost povrchu. Rmax (maximální výška od vrcholu k prohlubni) je asi 0,3 μm nebo méně. Má nejvyšší rovinnost a není snadné u něj tvořit mikrovířivé proudy. Odstraňte kontaminované částice. Reakční plyn použitý v procesu by měl být přiváděn potrubím na této úrovni.

Jeden jeBA třídy 316Ltrubka, která byla ošetřena metodou Bright Anneal a často se používá pro plyny, které jsou v kontaktu s třískou, ale neúčastní se procesní reakce, jako je GN2 a CDA. Jednou z nich je trubka AP (Annealing & Picking), která není speciálně ošetřena a obecně se používá pro dvojité sady vnějších trubek, které se nepoužívají jako přívodní potrubí plynu.

„1705977660566“

04 Výstavba potrubí

Zpracování ústí potrubí je jedním z klíčových bodů této stavební technologie. Řezání a prefabrikace potrubí se provádí v čistém prostředí a zároveň se zajišťuje, aby před řezáním na povrchu potrubí nebyly žádné škodlivé stopy ani poškození. Před otevřením potrubí by se měla provést příprava na proplachování dusíkem. Svařování se v zásadě používá ke spojování vysoce čistých a vysoce čistých plynovodů pro přepravu a distribuci plynu s velkým průtokem, ale přímé svařování není povoleno. Měly by se používat plášťové spoje a použitý materiál potrubí nesmí během svařování měnit strukturu. Pokud se svařuje materiál s příliš vysokým obsahem uhlíku, propustnost vzduchu ve svařované části způsobí vzájemné pronikání plynu uvnitř a vně potrubí, čímž se naruší čistota, suchost a čistota dopravovaného plynu, což povede k vážným následkům a ovlivní kvalitu výroby.

Stručně řečeno, pro vysoce čistý plyn a speciální plynovody musí být použity speciálně upravené vysoce čisté nerezové trubky, což činí vysoce čistý potrubní systém (včetně potrubí, potrubních armatur, ventilů, VMB, VMP) zásadní roli v distribuci vysoce čistého plynu.


Čas zveřejnění: 26. listopadu 2024