As polovodiča mikroelektronické technologie se vyvíjejí směrem k vyššímu výkonu a vyšší integraci, jsou kladeny vyšší požadavky na čistotu elektronických speciálních plynů. Technologie potrubí vysoce čistého plynu je důležitou součástí systému dodávky vysoce čistého plynu. Jedná se o klíčovou technologii pro dodávku vysoce čistých plynů, které splňují požadavky na místa použití plynu při zachování kvalifikované kvality.
Technologie vysoce čistého potrubí zahrnuje správný návrh systému, výběr potrubních tvarovek a pomocných materiálů, konstrukci a instalaci a testování.
01Obecná koncepce potrubí pro přepravu plynu
Všechny plyny o vysoké čistotě a vysoké čistotě musí být dopravovány do koncového bodu plynu potrubím. Aby byly splněny požadavky na kvalitu procesu pro plyn, když je index exportu plynu jistý, je nutné věnovat pozornost výběru materiálu a kvalitě konstrukce potrubního systému. Kromě přesnosti zařízení na výrobu nebo čištění plynu je do značné míry ovlivněna mnoha faktory potrubního systému. Proto je třeba při výběru trubek dodržovat příslušné zásady průmyslu čištění a vyznačit materiál trubek na výkresech.
02Význam vysoce čistých plynovodů v přepravě plynu
Význam vysoce čistých potrubí při přepravě vysoce čistého plynu Během procesu tavení nerezové oceli může každá tuna absorbovat asi 200 g plynu. Po zpracování nerezové oceli se na jejím povrchu nejen ulpívají různé škodliviny, ale také se v její kovové mřížce absorbuje určité množství plynu. Když potrubím prochází proud vzduchu, část plynu absorbovaná kovem znovu vstoupí do proudu vzduchu a znečišťuje čistý plyn.
Když je proudění vzduchu v potrubí přerušované, potrubí vytváří tlakovou adsorpci na procházející plyn. Když přestane proudit vzduch, plyn adsorbovaný potrubím vytvoří analýzu snížení tlaku a analyzovaný plyn také vstupuje do čistého plynu v potrubí jako nečistota.
Zároveň cyklus adsorpce a analýzy způsobí, že kov na vnitřním povrchu trubky vytvoří určité množství prášku. Tato kovová prachová částice také znečišťuje čistý plyn v potrubí. Tato vlastnost potrubí je velmi důležitá. Aby byla zajištěna čistota dopravovaného plynu, je nejen požadováno, aby vnitřní povrch potrubí měl extrémně vysokou hladkost, ale také aby měl vysokou odolnost proti opotřebení.
Pokud má plyn silné korozivní vlastnosti, musí být pro potrubí použity nerezové trubky odolné proti korozi. V opačném případě se na vnitřním povrchu trubky v důsledku koroze objeví korozní skvrny. V závažných případech se velké kusy kovu odlupují nebo dokonce perforují, čímž kontaminují přepravovaný čistý plyn.
03 Materiál potrubí
Výběr materiálu trubky je třeba volit podle potřeb použití. Kvalita trubky se obecně měří podle drsnosti vnitřního povrchu trubky. Čím nižší je drsnost, tím menší je pravděpodobnost, že bude nést částice. Obecně se dělí na tři typy:
Jeden jeTrubka EP třídy 316L, který byl elektrolyticky leštěn (Electro-Polish). Je odolný proti korozi a má nízkou drsnost povrchu. Rmax (maximální výška vrcholu k údolí) je asi 0,3 μm nebo méně. Má nejvyšší rovinnost a není snadné vytvářet mikrovířivé proudy. Odstraňte kontaminované částice. Reakční plyn použitý v procesu by měl být veden potrubím na této úrovni.
Jeden je aTřída BA 316Ltrubka, která byla ošetřena Bright Anneal a je často používána pro plyny, které jsou v kontaktu s čipem, ale neúčastní se procesní reakce, jako jsou GN2 a CDA. Jedním z nich je AP trubka (Annealing & Picking), která není speciálně upravena a obecně se používá pro dvojité sady vnějších trubek, které se nepoužívají jako rozvody plynu.
04 Stavba potrubí
Zpracování ústí trubky je jedním z klíčových bodů této stavební technologie. Řezání a prefabrikace potrubí se provádí v čistém prostředí a zároveň je zajištěno, že na povrchu potrubí před řezáním nezůstanou žádné škodlivé stopy nebo poškození. Před otevřením potrubí by měly být provedeny přípravy na proplachování potrubí dusíkem. Svařování se v zásadě používá pro spojení vysoce čistých a vysoce čistých potrubí pro přenos a rozvod plynu s velkým průtokem, ale přímé svařování není povoleno. Měly by být použity spoje pláště a u použitého materiálu trubky se požaduje, aby se během svařování nezměnila struktura. Pokud je svařován materiál s příliš vysokým obsahem uhlíku, vzduchová propustnost svařované části způsobí, že plyn uvnitř a vně trubky pronikne navzájem, čímž se zničí čistota, suchost a čistota dopravního plynu, což povede k vážným následkům a ovlivnit kvalitu výroby.
Souhrnně lze říci, že pro plynovody o vysoké čistotě a pro přepravu speciálních plynovodů je nutné použít speciálně upravenou trubku z nerezové oceli o vysoké čistotě, díky čemuž zabírá potrubní systém o vysoké čistotě (včetně potrubí, potrubních armatur, ventilů, VMB, VMP) zásadní poslání v distribuci vysoce čistého plynu.
Čas odeslání: 26. listopadu 2024